本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體用氟表面蝕刻液及其制備方法，蝕刻液配方：穩(wěn)定劑25-50，氫氟酸0.2-2，緩沖劑1-10，硝酸2-10，非離子表面活性劑0.0001-0.001，去離子水適量。工藝步驟：一、按配比把緩沖劑加入氫氟酸中，攪拌30分鐘，得到混合物I，二、按配比把穩(wěn)定劑加入硝酸中，攪拌40分鐘，得到混合物II，三、把步驟一和步驟二得到的混合物I和II 與適量的去離子水混合起來，攪拌30分鐘，靜止10分鐘后再加入非離子表面活性劑，攪拌均勻。本發(fā)明制備的蝕刻液通過緩沖劑加入氫氟酸來控制它的腐強(qiáng)度；通過穩(wěn)定劑加入硝酸中來控制硝酸的蝕刻穩(wěn)定性；通過加入非離子表面活性劑來降低蝕刻劑的表面漲力，提高蝕刻劑的浸潤效果，這樣大大提高了產(chǎn)品的穩(wěn)定性、蝕刻的平滑度和精度，提高了成品率。
